在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
测量稳定，重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选

传感器传感器类型密析尔陶瓷湿度传感器量程-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)精度±1°C-40 ~ -60°C;±2°C-61 ~ -100°C;±4°C -101 ~ -120°C (估算值)分辨率0.1°C -40 ~ -79.9°C;1°C -80 ~ -100°C;1 ~ 3°C -100 ~ -120°C压力最低 10-9 torr; 最大 24 MPa气体流量1 ~ 5 Nl/min电气电源通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大电流 25 mA输出4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C... [详细介绍]